激光干涉儀又稱為干涉測(cè)量裝置,，是一種利用光的干涉原理來測(cè)量物體長(zhǎng)度、厚度,、形狀,、折射率等參數(shù)的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,。具有高精度,、高靈敏度、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),，被廣泛應(yīng)用于工程和科研領(lǐng)域,；在工程領(lǐng)域，它可以用于測(cè)量材料變形,、振動(dòng),、熱膨脹等力學(xué)特性,；在科研領(lǐng)域，可以用于光學(xué)元件表面形貌,、復(fù)雜形狀的物體三維形貌和運(yùn)動(dòng)學(xué)研究等,；在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床,、激光打標(biāo)/切割,、三坐標(biāo)、影像儀,、精密測(cè)量,、自動(dòng)化、機(jī)器人,、3D打印等領(lǐng)域,。

中圖儀器SJ6000高速超精密激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

精度高

SJ6000高速超精密激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床,、三坐標(biāo),、機(jī)器人、3D打印設(shè)備,、自動(dòng)化設(shè)備,、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備,、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量,。